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荷兰ASML公司总裁:中国永不能模仿世界顶级的EUV光刻机

2020-01-31 06:48:03 光刻 中国 荷兰


据《一网荷兰》发文称,光刻机设备供应商ASML于美国当地时间1月22日发布了最新的季度年度财报业绩,并举行电话会议。而ASML总裁Peter Wennink在本次会上则明确表示,高端的EUV光刻机永远不可能(被中国)模仿。况且中国在知识产权领域有良好的规定。

据Wennink回应,因为受到来自美国的压力,荷兰扣留了EUV设备出口到中国的许可证,美国称之为一种战略产品。同时担心将此设备交付给中国可能导致技术失窃。

Wennink认为,ASML向中国客户交付产品不存在什么问题。“我们与中国客户开展业务已有30年,与现有的客户已有20年,他们为全球制造芯片。由于EUV光刻机在荷兰瓦森纳条约的清单中,因此ASML必须获得荷兰政府发出的许可证,我们目前正在等待。如果最终等不及,我们会将该EUV光刻机交付给其他客户,因此对我们公司的影响为零。市场对EUV光刻机的需求很大,如果我们不将产品交付给这个客户,则会交给其他客户,我们将在允许的范围内交付。”

Wennink高兴地解释了为什么他不害怕中国会模仿光刻机。“因为我们是系统集成商,我们将数百家公司的技术整合在一起,为客户服务。这种机器有80000个零件,其中许多零件非常复杂。以蔡司公司为例,为我们生产镜头,各种反光镜和其他光学部件,世界上没有一家公司能模仿他们。此外,我们的机器完全装有传感器,一旦检测到有异常情况发生,Veldhoven总部就会响起警报。”

Wennink没有看到中国如何能从仿制的设备中受益。“永远都不可能秘密地进行,必须要涉及很多专家。假设他们成功了,他们将给市场带来很多无法追踪来源的芯片,而最终曝光。我们总是关注着市场的动态,我们当然也会熟悉我们的产品出口到每个国家的知识产权法律。中国也有良好的规定,即使只是为了让自己保持领先地位,例如在5G移动通信。这些规定也适用于我们的机器。”

Wennink其实说得倒也非常直白,大意就是,像高端的EUV光刻机,你想要模仿是不可的,并且,就算你愿意出比别人更多的价钱,也不是你想买就能买到的。就ASML本身而言,向中国客户供应光刻机设备及提供配套支持服务似乎不存在什么问题,但中国客户要从ASML购买到高端的EUV光刻机,即使EUV光刻机不可被模仿,实则困难重重?到此,不便再继续深究。

国内不少网友纷纷表示,生产光刻机其实不难,基本原理大家容易懂。如果ASML不肯卖我们EUV光刻机,那么我们就自己攻坚克难,不惜一切代价当总能造出国产EUV光刻机。

另有不少网友则持相反的看法,EUV光刻机国产化想想可以,但真要做起来,其实比登天还难,光刻机有上万个精密零部件,一些关键部件的制造公司在全球也就一两家,还和ASML交叉持股,产量本就供不应求,假如顶级的光刻机卖给中芯国际,即使中国有着强大的制造业,且模仿能力超强,在10年的时间里国内配套零部件制造也肯定是追不上人家的,技术经验(积累)和人才储备更是远远不足。

还有一些网友给出了相对中性的观点,像EUV光刻机,不仅需要投入太多,而且涉及各交叉学科和各应用工程,涉及的面相当广泛,且研发周期太长,加上本身我们与世界顶尖水平的差距就已经太大。所以,与其跟在别人后面,四处碰壁,碰的头破血流,倒不如想想该如何另辟蹊径。与此同时,我们可以在光刻机设备领域保持一定的投入即可。换句话说,虽然我们可能永远造不出像EUV这样先进的光刻机设备,但起码要有能力生产低端的光刻机,甚至中端的光刻机。

据《牛顿第四定律》写道,ASML为能够在整个设备的不同部位同时获得世界上最先进的技术,ASML的光刻机中超过90%的零件都是向外采购的,与竞争对手,亦即尼康和佳能是完全不同的。这样ASML自身也可以腾出手来在部件整合和客户需求上做文章,从而在日新月异的芯片制造行业取得竞争优势。ASML在技术研发方面汇聚了世界最前沿最顶尖的科技。ASML的一些重要部件来自世界很多国家,美国、德国向ASML提供超级精密的机械支持以及光学技术的支持,德国向ASML提供一些核心的配件支持,美国为ASML提供光源的支持以及计量设备的支持。

据ASML、佳能和尼康三家厂商2018年财报显示,三家共出货光刻机374台,上年的294台增加80台,增幅27.21%。EUV、ArFi、ArF机型,全年共出货134台。其中ASML出货120台,在高端市场占据的份额高达90%。在10nm节点以下,ASML则稳稳占据100%的市场,同业竞争对手已无力追赶。如果芯片制造商想要生产10nm节点以下的芯片,必须得有ASML供应的EUV光刻机及相应的支持服务。

中国大陆晶圆制造商若要生产10nm以下节点的芯片,该怎么解决呢?

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